半导体裂片仪的清洁

半导体裂片仪的清洁

半导体裂片仪在工作过程中通常会产生飞溅物和氧化物，这样就会对设备造成污染，因此，在使用结束后需要将设备进行清洗，定期对设备进行维护保养，还有，对于半导体裂片仪中的各个部件，如炉管、加热器和隔热材料等都要进行清洗和更换。